研磨パッドは特殊な微孔発泡材料で作られ、ポリウレタン類、ダンパー布と不織布類に分けられ、高平坦度要求と光沢度要求を加工するために用いられる。研磨パッドは硬軟で適度で、同時に多孔性を維持し、この硬さは研磨パッドを一生平坦な一緻性を維持することができ、製品はすでに様々な需要と基板材料の平麺加工と研削加工に開発されている。